潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有潔凈室，零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度類別。

潔凈室是指將空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、等之污染物除去，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例，無塵凈化主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂沒有一點灰塵，而是控制在一個單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上。

如表所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了標準。應用在芯片生產加工的無塵標準對于灰塵的要求，這樣的高標主要被應用在一些較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內。